摘要:讨論了(le)金屬管浮子(zǐ)流量計 加裝(zhuang)阻尼器在多(duo)晶矽生産中(zhōng)的應用方案(an),并對流量計(jì)使用阻尼器(qì)前後的效果(guǒ)作了對比。
1金(jīn)屬管浮子流(liú)量計的工作(zuò)原理及一般(ban)應用
　　轉子流(liú)量計 ,又稱浮(fú)子流量計,金(jīn)屬浮子流量(liang)計由于其結(jie)構簡🔴單，可靠(kào)🏃‍♂️性強,可輸出(chū)标準信号,并(bing)能實現流量(liang)的指示、積算(suàn)、記錄.控制和(he)報警等多種(zhǒng)功能,所以在(zai)工，業生産中(zhōng)被廣泛應用(yong)。
1.1金屬管浮子(zǐ)流量計的工(gōng)作原理
　　金屬(shǔ)管浮子流量(liàng)計采用可變(biàn)面積式測量(liàng)原理。llj 主要💔由(yóu)三部分組成(cheng):測量管、浮子(zǐ).耦合指示系(xì)統。如原理圖(tu)所示,相對應(ying)測量介質的(de)某--流量。磁性(xing)浮子在測量(liàng)管🧡中對應一(yī)個浮子位置(zhi)✨.這個浮子位(wei)置通過指示(shi)器中的經過(guo)充磁的磁耦(ǒu)合指示系統(tong)帶動指針,由(you)刻度盤和指(zhi)針讀出相應(ying)的流量計。也(yě)可配裝不同(tong)的轉換⛹🏻‍♀️器.将(jiāng)流量值轉換(huàn)成标準的電(diàn)遠傳信号,從(cong)而實現遠距(jù)🆚離顯示、記錄(lù)、積算和控制(zhi)功能。金屬管(guǎn)轉子流量計(ji)在💁耦合指示(shì)系統的設🔴計(ji)上可以🧡爲各(gè)種應用場合(hé)提供✔️可靠适(shi)用的功能組(zu)合🔴,如現場指(zhǐ)針顯示、LCD顯示(shi)瞬時和累計(ji)流量等。在指(zhi)示器供電選(xuǎn)擇方面有電(diàn)池供電、24VDC供電(dian)、220VAC供電,方式根(gēn)據現場㊙️情況(kuang)💁選擇。
 
1.2金屬管(guǎn)浮子流量計(ji)的一般應用(yong)
　　工業上常用(yong)的流量計除(chú)了金屬轉了(le)流量計外，還(hai)有 差壓流量(liàng)計 、 渦街流量(liàng)計 、 電磁流量(liang)計 、 超聲波流(liu)量計 、 渦輪流(liu)量計 、 橢圓齒(chi)輪流量計 等(děng)。每種流量計(ji)在針對不同(tóng)的被測流體(tǐ)、不同的流動(dòng)狀态、不🔱同的(de)測量場所,各(gè)有其優勢和(he)劣勢.比如👌在(zài)流速不同的(de)場合中,中高(gao)流速下的流(liú)量測量已有(you)孔闆.渦街等(deng)多種流量計(jì)能夠實現正(zhèng)确測量,而在(zài)較低流速、較(jiào)高壓力的流(liu)量測量中,尤(yóu)其低雷諾✍️系(xi)數的情況下(xià).金屬管浮子(zi)流盤計就❤️起(qǐ)到非常重✉️要(yao)的作用。
 
2金屬(shu)管浮子流量(liang)計加裝阻尼(ní)器在多晶矽(xi)生産中的應(ying)用
2.1阻尼器的(de)工作原理
　　使(shi)自由振動衰(shuai)減的各種摩(mo)擦和其他阻(zǔ)礙作用，我們(men)🧑🏽‍🤝‍🧑🏻稱之爲阻尼(ni)。而可以提供(gòng)運動的阻力(lì),耗碰運動✔️能(neng)量的裝置,我(wǒ)們稱爲阻尼(ni)器。目前各種(zhong)應用中有🌍:彈(dan)貧阻尼器、液(ye)✏️壓阻尼器、粘(zhan)滞阻尼器.氣(qì)阻尼器、電磁(cí)阻尼器等。
2.2金(jin)屬管浮子流(liu)量計在使用(yòng)中出現的問(wèn)題
　　轉子流量(liang)計在多晶矽(xi)生産現場使(shǐ)用過程中,由(you)于測😄量介質(zhì)瞬間流量過(guo)小或不穩定(dìng)、操作壓力低(di)或不穩‼️定,儀(yí)表前後測😘量(liàng)管道内徑變(bian)化過大，前後(hòu)直管段嚴🔴重(zhong)不符⭐合使用(yòng)規定要求，尤(yóu)其是測量介(jiè)質爲氣體等(děng)情況下會造(zào)成流量計測(ce)量管内介質(zhì)流動極不穩(wěn)定,引起浮子(zǐ)發生跳動的(de)現象。浮子的(de)垂直上下直(zhi)線♋運動通過(guo)磁耦合系統(tǒng)傳遞、傳化📞爲(wèi)指針軸的轉(zhuǎn)動運行,與指(zhǐ)針軸組合成(chéng)一-體的指針(zhēn)轉動從而擡(tái)示介質的瞬(shùn)時流量。流量(liang)計測量管中(zhong)浮子發生的(de)跳動現象傳(chuan)遞給指🔴針,就(jiù)變成爲指針(zhēn)連🌈續不停頓(dun)的擺動現象(xiang)，造成流量指(zhi)示不穩定,甚(shen)至根本不能(neng)讀取刻度值(zhí),确定瞬時流(liú)量數值。如果(guo)現場出現這(zhe)種現象,通常(cháng)的處理🌍方法(fa)是分析造成(cheng)指針擺動的(de)主要原因,多(duō)數情況下從(cóng)多晶矽生産(chǎn)工藝上采取(qu)措施⭐,改善介(jie)質流動狀況(kuang),從而減少、避(bi)⚽免🌐指針的擺(bai)動。但是很🎯多(duo)時候指針擺(bai)動的頻率、幅(fú)度很難🥰從根(gēn)本.上避免、降(jiàng)低。
2.3氣阻尼器(qi)在金屬管浮(fú)子流量計中(zhong)的應用
　　在儀(yí)表測量管中(zhong)加裝氣阻尼(ni)器成爲解決(jué)浮子跳動,指(zhǐ)針🌏擺動🈲的有(you)效方法之一(yi)。該裝置包括(kuò)氣阻尼頭與(yu)🥰氣阻尼套,二(er)者爲間隙配(pei)合,二者間形(xíng)成的腔體中(zhong)充滿測量🌈介(jiè)質,當浮子向(xiàng)上或向下運(yun)動時,測量介(jie)質必須排出(chu)或✨進人腔體(ti),由于阻尼頭(tou)與阻尼套之(zhi)間間隙很小(xiǎo)，測量介質排(pái)出或進人腔(qiang)體的速度滞(zhì)後于浮子向(xiàng).上或向下運(yun)動的速度.從(cong)而起到阻尼(ní)效果,降低.浮(fu)子向.上或向(xiang)下運動的速(sù)度,過低指針(zhen)擺動的頻率(lǜ)、幅度。
2.3.1氣阻尼(ní)器使用中需(xū)要注意的問(wèn)題。
　　現有阻尼(ni)裝置中的氣(qi)阻尼頭與阻(zu)尼套之間的(de)配合爲面接(jiē)🌈觸.與流量計(jì)測量管與介(jiè)質流動極不(bú)穩定,引起浮(fú)子發生跳動(dong),加之加工誤(wu)差,常會使氣(qì)阻尼頭随🌈浮(fú)子導向.杆産(chan)生偏移.導緻(zhi)氣阻尼頭過(guo)快的磨損，嚴(yán)重時使氣阻(zu)尼套卡住,影(ying)響阻🙇🏻尼效果(guǒ),縮🚩短氣阻尼(ní)裝置的使用(yong)壽命。
2.3.2解決方(fāng)案。
　　爲了解決(jué)可能存在的(de)不足,可采用(yòng)了以下新技(ji)術。改變氣🤩阻(zu)尼頭與氣阻(zǔ)尼套之間的(de)配合方式,使(shi)之💃🏻配合的表(biǎo)面形狀爲球(qiu)面,球面的圓(yuan)心在氣阻尼(ní)頭與氣阻尼(ni)套配合的中(zhōng)軸線上,使氣(qi)阻❗尼頭與氣(qi)阻尼套之間(jian)的配合爲🏃線(xian)性接觸👉。當氣(qì)阻尼頭随浮(fú)子導向杆産(chǎn)生偏移時,氣(qi)阻✏️尼頭與氣(qi)阻尼套之間(jiān)的配合始終(zhōng)是線接觸，既(ji)可防止氣阻(zǔ)尼頭與氣阻(zu)尼套卡住.義(yì)使氣阻尼頭(tou)磨損平均,延(yan)長了氣阻尼(ní)裝置使用壽(shou)命。
 
2.4電磁阻尼(ni)器在金屬管(guan)浮子流量計(jì)中的應用
　　由(you)于轉子流量(liang)計的測量管(guǎn)爲機械結構(gou).測量時對🍓波(bō)動很敏感,經(jīng)常會出現指(zhi)針波動嚴重(zhòng),甚至影響讀(dú)數的情況。除(chu)了在測量管(guǎn)中加裝氣阻(zu)尼器之外,還(hai)可以在指針(zhēn)組件中增加(jia)電磁阻尼器(qì),使指針擺動(dong)的頻率、幅度(du)大幅度降低(di)，使指針指示(shi)穩定，刻度值(zhi)讀取變得容(rong)易，讀取精度(du)更高。
　　電磁阻(zǔ)尼器的工作(zuo)原理。電磁阻(zǔ)尼器由磁鋼(gāng)、連接件、金屬(shǔ)🏃‍♀️闆等組裝後(hòu)爲一體。指針(zhen)的配重爲導(dǎo)電金屬鋁合(he)金,根據🆚電磁(ci)感應定律,配(pèi)重在磁場中(zhōng)運動，切割磁(cí)👉力線.必👣然産(chan)生感應電動(dong)勢,從而在配(pèi)重中産生渦(wo)電流;磁場對(duì)帶電導體必(bi)然産生作用(yong)力,而此作用(yòng)力恰🔅好起到(dào)阻礙配重在(zài)磁場中運動(dòng)的作💛用,配重(zhong)運動的速度(du)越大,産生的(de)反作用也越(yuè)大,其效果類(lèi)似于阻尼器(qì),從而使電磁(ci)阻尼器起到(dao)降低指針擺(bai)動頻率、幅度(dù)♍的作用.達到(dao)穩定的效果(guo)。
 
　　與現有技術(shù)相比，通過增(zeng)加電磁阻尼(ní)器裝置,可有(you)效改善流量(liàng)計的使用效(xiào)果，使指針的(de)擺動頻率和(he)幅度大幅度(du)降低，指🤟針穩(wen)定指示,刻度(du)值的讀取變(bian)得容易，讀取(qǔ)精度提高,既(jì)提高了效率(lü)🔆也保證了精(jīng)度。

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