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敏感元件是(shi)能夠靈敏地(dì)感受被測變(bian)量并作出響(xiǎng)應的元💃件。如(rú):彈性膜盒能(néng)感受壓力的(de)高低而引起(qǐ)形變,形變的(de)程度就🌈是對(dui)壓力高低的(de)響應,因此,彈(dan)✂️性膜盒是一(yi)種壓力敏感(gǎn)元件💜。
傳感器(qi)不但應該對(dui)被測量敏感(gan),而且具有把(ba)它對被測量(liàng)的🙇♀️響應傳送(song)出去的功能(neng)。也就是說,傳(chuán)感器不隻🌏是(shì)一✊般的敏感(gǎn)元件♻️,它的輸(shu)出響應還必(bi)須是🏃易于傳(chuan)送的物理量(liang)。例🔞如:上訴的(de)彈性🔴膜盒的(de)輸出響應是(shi)形變,是微小(xiao)🔅的幾何量,不(bú)便于向遠方(fang)傳送。如果把(bǎ)膜盒中心的(de)位移轉變爲(wèi)電容極闆的(de)間隙💞變化,就(jiu)成爲輸出響(xiǎng)應是電容量(liang)的
壓力傳感(gan)器。
由于電信(xin)号便于傳送(song),所以絕大多(duō)數傳感器的(de)輸出是電量(liàng)的形式,如電(dian)壓、電流、電阻(zǔ)、電感、電容、頻(pin)率等。
變送器(qi)是從傳感器(qì)發展而來的(de),凡能輸出标(biāo)準信号的傳(chuan)感器就稱爲(wèi)變送器。(标準(zhǔn)信号是物理(li)量的形式🤟和(hé)數值範圍都(dōu)符合标準的(de)信号。例如直(zhi)流4~20mA)有🌍了統一(yī)的信号形式(shi)和✂️數值範圍(wéi),就便于把各(gè)種變送器和(he)其他儀表組(zu)👌成檢測系統(tǒng)或調節系統(tǒng)。
輸出爲非标(biao)準信号的傳(chuán)感器,必須和(he)儀表或裝置(zhi)🥵配套,才能實(shi)現檢測或調(diào)節功能。爲了(le)通用性和靈(ling)活性,某些傳(chuán)感器的👣輸出(chū)可以靠轉換(huan)器把非标準(zhǔn)信号轉換成(cheng)标準信号,使(shi)之與帶有标(biāo)💁準信号的輸(shu)🔞入電路或接(jiē)口的儀表配(pei)套。不同的标(biao)準⚽信号也可(kě)借助于轉換(huan)器互相轉換(huàn)。例如利用氣(qì)/電轉換器,能(néng)🏒把20~100 kPa的空氣壓(yā)力轉換成0~10mA的(de)直流電流。
位(wèi)式作用和連(lián)續作用:
位式(shì)作用,也稱爲(wèi)開關作用,即(jí)傳感器在輸(shu)入變量整個(ge)變化範圍内(nei)其輸出相應(ying)隻有兩種狀(zhuàng)态,例如空氣(qì)狀态的“高”和(he)“低”。
位式作用(yòng)的傳感器多(duo)用于被測變(biàn)量的超限報(bào)警、連鎖保護(hù)、順序控制。例(lì)如我們的壓(yā)力開關。
需要(yao)連續檢測或(huò)調節某些變(bian)量時,就必須(xu)用連續作用(yong)☎️的傳感器或(huò)變送器。
長野(yě)的變送器中(zhōng)所使用的傳(chuan)感器SS—蒸發型(xíng)半導體應變(biàn)片的特點:
(1)相(xiang)對于粘貼式(shì)和擴散式技(jì)術。
(2)其可測壓(ya)力範圍 -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。
(3)具有(yǒu)耐用性和穩(wěn)定性。
半導體(tǐ)應變片的制(zhì)作方法:粘貼(tie)方式、蒸發方(fang)式、擴散方式(shi)。
長野的變送(sòng)器,如KM31、KM10 等,其半(ban)導體應變片(piàn)部分、感應元(yuan)🌏件(不鏽鋼隔(gé)膜)以及壓力(lì)接口部分通(tong)過焊接連接(jie)成一體,具有(yǒu)很高的穩定(dìng)性和可靠性(xìng),抗震性和抗(kang)沖擊性良好(hao)。
蒸發式半導(dǎo)體應變片的(de)具體制作方(fāng)式如下:
(1)在不(bú)鏽鋼隔膜上(shàng)使用CVD等離子(zi)沉澱一層SiO2絕(jué)緣膜
(2)在SiO2絕緣(yuan)膜上再沉澱(diàn)一層多晶矽(xi)。
(3)在多晶矽上(shang)使用激光蝕(shí)刻,應變片成(cheng)型 。
(4)用電子束(shù)照射蒸鍍,配(pèi)上金制電極(ji)。
(5)再使用CVD等離(li)子沉澱一層(ceng)SiNx保護膜。
根據(jù)傳感器或變(biàn)送器的安裝(zhuang)場所有無易(yi)燃易爆氣體(tǐ)✊及㊙️危險程度(du),選擇隔爆型(xíng)及本安型。
(1)隔(ge)爆型在内部(bu)電路和周圍(wei)易燃氣體之(zhi)間采取了隔(gé)離措💰施,允許(xǔ)使用在有一(yī)定危險性的(de)環境裏 。
(2)本安(an)型即本質安(ān)全型的簡稱(chēng),依靠設計的(de)電路保證♻️在(zài)正🐆常工作及(jí)故障(意外短(duan)路或斷路)狀(zhuang)态下都不會(hui)引起燃爆事(shì)故,可用在十(shi)分易燃易爆(bao)的場所。
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